由於加工技術的日趨精密, 因此在生物醫學 (Biomedical) / 精密電子 (Electronics) / 航太科技 (Aero Technology) / 能源技術 (Energy & Power) / 精密加工 (Precision Process) …等行業都需要使用三次元量測儀器來設計以及量測擬產出的產品. 三次元量測功能的座標量測儀（Coordinate Measuring Machine, CMM）, 由於許多三次元量測儀器為了提升精準程度以;及加速量測的效率, 所以儀器設備內都會設計有空氣軸承 (Air Bearing; 請參考下圖) 與空氣軸承在三次元量測儀器的位置, 讓精度以及效率做更好的提升.
多數的三次元量測儀結構都採用精密花崗石做為平台，較好的機台會使用00級以上的花崗石。三軸的結構多數會採用花崗石，部分機型則採用鋁合金或鑄鐵，而更高階的機種會使用碳纖、陶瓷或其它複合材質。常見的外型結構為龍門式(或稱移動橋架式)，其他較常見的有單邊架橋式(或稱L橋架式)、雙邊架橋式、懸臂式等。精密花崗岩燕尾台導軌帶有獨特的 單孔槽預載空氣軸承，可在高速下進行精確的運動控制。
三次元量測儀區分為滾珠線性滑軌及氣浮滑軌兩種，滾珠線性滑軌之干涉與變形較大，較少使用於大型的機台；主流則為氣浮滑軌，原理式壓縮空氣在空氣軸承 (Air Bearing)和軌道間形成幾微米 ( um ) 低摩擦阻力的空氣層，亦即空氣軸承浮在軌道上，可輕易移動。
空氣軸承必須承載壓縮空氣, 而由於其精密度以及搭配的三次元量測儀器軌道間有壓縮空氣作為空氣層; 可以想見壓縮空氣品質必須維持一定的品質以上. 我們的經驗是符合ISO8573-1 Class 2.7.2. (含) 以上最好達到Class 2.5.2.則可以確保空氣軸承與軌道的精密程度不受影響以及不至於發生油垢或生鏽影響作動. 三次元量測儀器的壓縮空氣需求規格如下 :
- 無油無水 (氣), 且空壓機系統出口或者設備入口前安裝0.01um的精密過濾器.
- 操作壓力確保在5 kg/cm2G (含) 以上; 也就是說無油式空壓機選擇時, 選擇7~8 kg/cm2G較為合適.
- 實際風量需求依據機型不同, 約略在100~200L/min左右 (以岩田無油渦卷式空壓機來選型則為2馬力的SLP15EF機型~3馬力的SLP22EF機型).
三次元量測儀器在工廠或研發公司的品質設計測試中心以及實驗室有許多的應用, 包括 :
- 生物醫學 (Biomedical) : 人工關節, 義肢…
- 電子科技 (Electronics) : 電子儀器外觀設計與量測…
- 航太工業 (AeroSpace) : 發動機引擎葉輪, 擴散器…
- 能源動力 (Energy & Power) : 發電透平機的相關零件,
- 其他
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